VT60 CR 半導體晶圓吸酸專用 (Class 100)   
 
 
 
專為無塵室的環境所設計,搭配有HEPA高效率過濾器,亦可選購ULPA超高效率過濾器,VT60CR特殊氣流循環系統設計可以防止馬達碳刷所產生的灰塵穿過系統排放出來。應用在乾式和濕式時不需要更換過濾器。
1.  15加侖的收集桶
2.複合式收集/處理功能
3. 分離式台車
4.防水、防霉、防腐蝕、防侵蝕的主過濾器可以保護HEPA
5.旋轉式扣環可以保証安全
 
 

機型

VT60CR

伏特 V

110

功率 kW

1300

空氣流量 cfm

99

主濾網面積sq.ft.

15.38

音量dB(A)

75

集塵桶容量gallons

15

重量lbs

65

體積(LxWxH) inches

24x21.5x37.5