可依客戶產業別需求生產規劃維修銷售 -- SSVAPOR HEPA 集塵機毒性粉塵吸塵器可捕獲有毒氣體、半導體和超細顆粒。高�

毒性粉塵吸塵器可捕獲有毒氣體、半導體和超細顆粒。高效活性碳過濾器，可濾除在半導體製程~ 諸如MBE、離子注入和等離子體刻蝕機~設備清潔過程中釋放的有毒體砷化氫、膦和氯化溶劑蒸氣(四氯化碳和氯仿)。
316不鏽鋼容器。
重型台車提供穩定性和安全性。
安全鎖扣提供額外的安全性和高度密合。
前置HEPA過濾器可防止有害的顆粒損壞活性碳過濾器。
標準排風口HEPA過濾器保持絕對無塵室標準。
活性炭過濾器吸收濾除有毒氣體，維護作業安全。
可拆卸的活性碳過濾器濾芯，方便更換集塵袋。
精密的過濾器保護電機和阻擋如細菌大小的顆粒。
HEPA排氣過濾器阻擋0.3微米顆粒達99.97％的過濾效果。可選配ULPA過濾器阻擋0.12微米顆粒達99.997％的過濾效果。
在專利的蜂巢層活性炭顆粒提供最完整的接觸，使碳和有毒物之間達到最長停留時間。